失效分析常用的设备及功能

      明确其失效模式，失效模式是指失效的外在直观失效表现形式和过程规律，通常指测试观察到的失效现象、失效形式，如开路、短路、参数漂移、功能失效等。要明确失效模式，首先要细心收集失效现场数据。一般情况下失效分析委托方发现失效元器件，会对失效样品进行初步电测判断，再次会使用良品替换确认故障。如有可能要与发现失效的人员进行交流，详细了解原始数据，这是开展失效分析工作关键一步。
确认其失效机理，失效机理是指失效的物理和化学变化的过程，微观的过程可以追溯到原子、分子尺度和结构的变化，但与此相对应的是其迟早要表现出一系列宏观（外在的）性能、性质的变化，如疲劳、过应力，腐蚀等等。失效机理的确认是对失效内在本质的研究，即对酿成失效的必然性和规律性的研究。例如在功率器件的EAS失效中，就可能存在着过电压导致寄生三极管开启，导致器件失效。也可能存在着电路板系统温度过高，致使器件寄生三极管开启电压下降，随即导致寄生三极管开启，导致器件失效。
       要能精确的分析到器件内在的失效机理，就必须有一定的技术手段和设备手段。掌握了必要的设备分析手段，才能为开展失效分析打下良好的基础。一般失效分析的设备及其功能主要有如下几类，详见图表2.